電子行業(yè)個(gè)使用的絕緣材料、溶劑、清洗劑、處影劑、光刻膠、蝕刻液等中：有大量有機(jī)物成分。在下藝過種中，這些侖機(jī)溶劑人邪分通過揮發(fā)成為廢氣排放。目的，針對這種氣體排放，一般采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。
    1、吸附法
    吸附是利用多扎件固體吸附劑處理混合氣體，使其小所含的一種觀多種組分吸附于出體表面上，達(dá)到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物．有效地清除(或回收)濃度很低的有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備簡單，操作力使，且能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。但固體吸附劑的吸附容量小，需要大量的吸附劑，設(shè)備廢大，且吸附后吸附劑需要再生處理，是吸附處理的豐要缺點(diǎn)。生產(chǎn)場所揮發(fā)出來的有機(jī)廢氣通過局部排風(fēng)罩收集，經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng)。一般采用活件炭作為吸附劑，因?yàn)榛钚蕴渴欠菢O性吸附劑，對廢氣小水蒸氣的靈敏廢人高，且價(jià)格便宜。
    2、焚燒法
    焚燒達(dá)是指說過熱堿化將有機(jī)物轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時(shí)，焚燒對處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧化中，有機(jī)廢氣流經(jīng)過加熱，氣相中的有機(jī)物被氧化。為節(jié)省燃料使用，通常還使用熱交換器，回收焚燒產(chǎn)生的熱量對進(jìn)口氣體進(jìn)行預(yù)熱。對于處別人流量、低濃度的氣體，通常都要采用這種方法。采用直燃式焚燒爐或蓄熱式焚燒爐對有機(jī)廢氣進(jìn)行燃燒處理，有機(jī)廢氣大除效率可達(dá)98％以上。但能耗高，投資大，易氧化空氣中的N2，
    3、沸石濃縮轉(zhuǎn)輪再生法
    也有一些生產(chǎn)家使用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪再個(gè)的方法處理有機(jī)廢氣，即用熱空氣加熱將有機(jī)物從沸石濃縮轉(zhuǎn)輪上脫附解吸出來．脫附下來的有機(jī)物己被濃縮成濃有機(jī)廢氣，進(jìn)人燃燒器燃燒去除。有機(jī)廢氣處理設(shè)備的凈化效率大丁90％。含有有機(jī)廢氣的排風(fēng)經(jīng)轉(zhuǎn)輪吸附裝置吸附后，其中的行機(jī)廢氣的濃度達(dá)到徘放標(biāo)準(zhǔn)，可排入大氣。濃廢氣燃燒處理裝置的燃料為天然氣。