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電子工業(yè)有機(jī)廢氣處理的方法
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編輯： 瀏覽：1339 時(shí)間：2013-05-08
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電子工業(yè)中使用絕緣材料、溶劑、清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等中含有大量有機(jī)物成分。在下藝過種中，這些侖機(jī)溶劑人邪分通過揮發(fā)成為廢氣排放。目的，針對(duì)這種氣體扒放， ‘膠采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。
一、吸附法
吸附是利用多扎件固體吸附劑處理混合氣體，使其小所含的一種觀多種組分吸附于出體表面門達(dá)到分離的目的。吸附劑選擇性向，能分開其他過程難以分井的混合物．有效地清除(或回收)濃度很低的有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備簡(jiǎn)單，操作力使，月能文現(xiàn)自動(dòng)控制。但固體吸附劑的吸附容量小，需要大量的吸附劑，設(shè)備廢大，且吸附屑吸附劑需要再生處理，是吸附處理的主豐要缺點(diǎn)。生產(chǎn)場(chǎng)所揮發(fā)出來(lái)的有機(jī)廢氣通過局邢排風(fēng)里收集，經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng)。一般采用活件炭作為吸附劑，出為活性炭是非極性吸附劑，對(duì)廢氣小水蒸氣的靈敏度不高，且價(jià)格便宜。
二、焚燒法
焚燒達(dá)是指說(shuō)過熱堿化將侖機(jī)物轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時(shí)，焚燒對(duì)處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧化中，有機(jī)廢氣流經(jīng)過加熱，氣相少的釘機(jī)物被緘化。為節(jié)省燃料使用，通常還他州熱交換器，回收焚燒產(chǎn)生的熱量對(duì)進(jìn)n氣體進(jìn)行預(yù)熱。對(duì)丁處別人流量、低濃度的氣體，通常都要采用這種方法。采用玄燃式焚燒爐或蓄熱式焚燒爐村有機(jī)廢氣進(jìn)行燃燒處理，有機(jī)廢氣大除效率可達(dá)98％以上。們能耗向，投資人，易氧化空氣小N2。
三、沸石濃縮轉(zhuǎn)輪再生法
也有一些生產(chǎn)廠使用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪再個(gè)的方法處理有機(jī)廢氣，即用熱空氣加熱將有機(jī)物從沸石濃縮轉(zhuǎn)輪上脫附解吸出來(lái)．脫附下來(lái)的有機(jī)物己被濃縮成濃有機(jī)廢氣，進(jìn)人燃燒器燃燒士除。有機(jī)廢氣處理設(shè)備的凈化效率大丁90％。含釘釘機(jī)廢氣的排風(fēng)經(jīng)轉(zhuǎn)輪吸附裝置吸附后，其中的行機(jī)廢氣的濃度達(dá)到徘放標(biāo)準(zhǔn)，可排入大氣。濃廢氣燃燒處理裝置的燃料為天然氣。
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